Mit der Entwicklung der Computer-Mikroelektronik und der Informationstechnologie wurde die rasante Entwicklung der Elektronikindustrie vorangetrieben und auch die Entwicklung der Reinraumtechnologie vorangetrieben. Gleichzeitig werden höhere Anforderungen an die Gestaltung von Reinräumen gestellt, um die Fehlerquote zu senken und die Produktionseffizienz der Elektronikfertigung zu verbessern. Die staubfreie Werkstattgestaltung ist sehr umfangreich.
Merkmale der Elektronikfertigung für Reinräume:
Hohe Sauberkeit ist erforderlich, Luftmenge, Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Differenzdruck, Geräteabluftregelung nach Bedarf. Darüber hinaus sind diese Reinraumanforderungen an statische Elektrizität äußerst streng, und der Bedarf an Luftfeuchtigkeit ist besonders hoch. Weil die Fabrik zu trocken ist Raum ist leicht zu statischer Elektrizität zu erzeugen, was zu CMOS-Integrationsschäden führt. Im Allgemeinen sollte die Temperatur der Elektronikfabrik auf 22 ° C eingestellt werden. Die relative Luftfeuchtigkeit sorgt dafür, dass sich die Menschen wohl fühlen. Chip werkstatt, ic reinraum, scheibenfertigung shop sind wichtiger teil von reinraum. Da elektronische Produkte in den Herstellungsprozess, ist die Anforderung an Raumluft und Qualität sehr streng. Das Hauptziel ist die Kontrolle von Partikeln und Staub. Zu einem gewissen Zeitpunkt wurden die Temperatur und Feuchtigkeit der Umgebung, die Frischluftmenge und der Lärm strengen Vorschriften unterworfen.
1, geräuschpegel in der elektronik fabrik, zehntausend ebene reinraum (leeren zustand): nicht mehr als 65B (A)
2, vertikaler Fluss Reinraumverteilungsverhältnis sollte nicht weniger als 60% sein, horizontaler unidirektionaler Fluss Clanraum sollte nicht weniger als 40% sein, sonst wird es zu lokalem unidirektionalem Fluss.
3, der statische Druckunterschied zwischen Reinraum und im Freien des elektronischen Herstellers sollte nicht kleiner als 10Pa sein. Der statische Druckunterschied zwischen sauberen und nicht sauberen Bereichen sollte nicht weniger als 5 Pa betragen
4 Die Frischluftmenge in einem Reinraum mit einem Reinheitsgrad von 10 000 ist der Höchstwert der beiden folgenden Punkte:
1> Die Ausgleichskammer hat die erforderliche Gesamtmenge an Frischluft abgegeben und hält den positiven Innendruck aufrecht;
2> Stellen Sie sicher, dass die Frischluftzufuhr pro Person in einem Reinraum mindestens 40 pro Stunde beträgt
Reinraum-HLK-Systemheizung in der Elektronikindustrie ， Frischluft sollte zur Verfügung gestellt werden, Abschaltschutz gegen Übertemperatur. Wenn mit Punktbefeuchtung kein Wasserschutz eingestellt werden soll, sollte in kalten Räumen das Frischluftsystem mit Frostschutzmaßnahmen versehen werden. Die Luftzufuhrmenge des Reinraums muss beim Elektronikhersteller die folgenden drei betragen. Entsprechend der Wärme- und Feuchtigkeitsbelastung berechnen und bestimmen Sie die Luftzufuhr des Reinraums und die Menge der Frischluftzufuhr.
